多氟硫醚
五氟硫基是很強的吸電子基團，它可以和氧或者稀有氣體原子相連，形成類似醚的物質。
合成
十氟化二硫和臭氧反應生成五氟硫酸酸酐，這就是氧氟硫醚，化學式O(SF5)2。
氦酸H2HeO2與五氟硫化釒圓YrSF5在超鹽酸的催化下反應生成氦氟硫醚，化學式He(SF5)2。類似的方法可以製取氖氟硫醚、氬氟硫醚。
用二氟化氪與五氟硫化釒圓YrSF5在超鹽酸的催化下反應生成氪氟硫醚，化學式Kr(SF5)2。類似的方法可以製取氙氟硫醚、氡氟硫醚。
結構
這些化合物中，稀有氣體原子都是直線型的構型，而氧的構型是V形。
氧氟硫醚是極性分子，而其他的是非極性分子。
性質
稀有氣體氟硫醚是無色無味的液體或氣體，非常容易揮發。氧氟硫醚有刺鼻的臭味，且有非常強的腐蝕性，甚至可以溶解銥。
稀有氣體氟硫醚的結構高度對稱，化學性質非常穩定，只能被液態的鍅𨭦合金、超鹽酸、釒炸等具有超強還原劑、超強氧化劑、超強酸性的物質破壞。
氟硫醚和放射性物質接觸時會發出螢光，這是因為衰變產生的高能粒子會打掉中心原子的電子，形成陽離子。陽離子本身有顏色，在捕獲電子的時候產生能量也會有顏色。